Обогащенный трифторид бора-11 (¹¹BF₃) для полупроводниковых ионных имплантаторов

Обогащенный трифторид бора-11 (¹¹BF₃) — это специальный электронный газ, получаемый из высококонцентрированного сырья ¹¹B с обогащением ¹¹B ≥99,9% и чистотой ≥99,999%. В качестве важного легирующего газа для ионной имплантации p-типа он незаменим для производства полупроводниковых чипов и дисплейных панелей на передовых технологических процессах.